Unit pengukuran inersia MEMS terdiri dari gyroscope tiga sumbu, accelerometer tiga sumbu, sudut kecenderungan tiga sumbu, sensor suhu, papan pengolah sinyal,struktur dan perangkat lunak yang diperlukan, dan digunakan untuk mengukur kecepatan sudut tiga sumbu, akselerasi tiga sumbu dan sudut kecenderungan tiga sumbu pembawa.tabel muatan dan data kemiringan kompensasi kesalahan belakang (termasuk kompensasi suhu), kompensasi sudut instalasi yang salah, kompensasi nonlinear dan sejenisnya) melalui port serial RS-422 sesuai dengan protokol komunikasi yang disepakati.